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대한산업공학회
대한산업공학회지
반도체 FAB 공정의 효율적인 통제를 위한 생산 기준점 산출 알고리듬
KCI 등재
반도체 FAB 공정의 효율적인 통제를 위한 생산 기준점 산출 알고리듬
A Milestone Generation Algorithm for Efficient Control of FAB Process in a Semiconductor Factory
백종관 ( Jong Kwan Baek ) , 백준걸 ( Jun Geol Baek ) , JunGeolBaek ( Sung Shick Kim )
대한산업공학회
2002.12
대한산업공학회지
28권 4호
415-424(10pages)
UCI
I410-ECN-0102-2009-530-003945941
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